電力導入装置及び成膜方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：大塚康徳 , 高柳司郎 , 大塚康弘 , 木村秀二 , 下山治 , 永川行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-275635
公開番号（公開出願番号）：特開2008-156746
出願日： 2007年10月23日
公開日（公表日）： 2008年07月10日
要約：

【課題】基板ホルダ上の基板に対して真空室の外部から高い電力を安定してかつ高い制御精度で導入することでき、さらにメンテナンス管理を容易化することを可能にする電力導入技術を提供すること。【解決手段】電力導入装置は、静電チャックに供給するための電力を外部電源から導入する電力導入機構を備える。電力導入機構は、支柱の端部に固定され、支柱とともに回転が可能な第1の導電性環状部材と、筐体部に固定され、第1の導電性環状部材と面接触する第2の導電性環状部材と、供給された第1電圧を前記第2の導電性環状部材及び第1の導電性環状部材を介して、静電チャックの電極に導入するための第1電力導入部材と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板を保持するための吸着力を発生させる静電チャックを有する基板ホルダと、前記基板ホルダを回転可能に支持する支柱と、前記支柱を介して前記基板ホルダを回転させる回転駆動機構と、前記支柱を支持する筐体部と、前記静電チャックに供給するための電力を外部電源から導入する電力導入機構と、を備え、前記電力導入機構は、前記支柱の端部に固定され、当該支柱とともに回転が可能な第1の導電性環状部材と、前記筐体部に固定され、前記第1の導電性環状部材と面接触する第2の導電性環状部材と、供給された第1電圧を前記第2の導電性環状部材及び前記第1の導電性環状部材を介して、前記静電チャックの電極に導入するための第1電力導入部材と、を備えることを特徴とする電力導入装置。

IPC (4件)：

C23C 14/50 , H01L 21/306 , H01L 43/12 , H01L 43/08

FI (6件)：

C23C14/50 A , C23C14/50 J , C23C14/50 E , H01L21/302 101G , H01L43/12 , H01L43/08 Z

Fターム (15件)：

4K029AA06 , 4K029AA24 , 4K029BC06 , 4K029CA05 , 4K029DC35 , 4K029JA02 , 4K029JA05 , 5F004BB22 , 5F004BB24 , 5F092AB06 , 5F092AC12 , 5F092AD03 , 5F092CA02 , 5F092CA08 , 5F092GA05

引用特許：

出願人引用 (1件)

真空処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-146300 出願人：アネルバ株式会社

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