特許
J-GLOBAL ID：200903094186297385
位置決めステージ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木下 實三 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-236884
公開番号（公開出願番号）：特開2001-066518
出願日： 1999年08月24日
公開日（公表日）： 2001年03月16日
要約：
【要約】【課題】 構造を簡略小型化でき、テーブルの送り精度を高められるとともに、構造要素の配置自由度を高められる位置決めステージを提供すること。【解決手段】 テーブルをベースに対して相対移動させる送り機構として、テーブル21およびベース22の何れか一方側に支持された一対のプーリ301〜402と、このプーリに掛渡されて少なくとも一部が前記移動方向に延びるループ状のベルト303,403と、テーブルおよびベースの何れか他方側とベルトとを接続するジョイント304,404と、テーブルおよびベースの何れか一方に設置されてベルトの一部を挟持するベルト駆動用のピンチ機構310,410とを設ける。
請求項（抜粋）：
測定対象を載置するテーブルと、前記テーブルを支持するベースと、前記テーブルおよびベースの間に介在されて前記テーブルを前記ベースに対して前記テーブルの表面に沿った所定の移動方向へ相対移動させる送り機構とを有する位置決めステージであって、前記送り機構は、前記テーブルおよびベースの何れか一方側に支持された一対のプーリと、このプーリに掛渡されて少なくとも一部が前記移動方向に延びるループ状の駆動力伝達部材と、前記テーブルおよびベースの何れか他方側と前記駆動力伝達部材の前記移動方向に延びる部分とを接続するジョイントと、前記テーブルおよびベースの何れか一方に設置されて前記駆動力伝達部材の一部を挟持する駆動力伝達部材駆動用のピンチ機構とを有することを特徴とする位置決めステージ。
Fターム (1件)：
引用特許：
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