特許
J-GLOBAL ID：200903094222258820

レンズアレイの検査方法および液晶表示装置の製造方法

発明者：
米山 良一

米山 良一 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-176246
公開番号（公開出願番号）：特開2000-009587
出願日： 1998年06月23日
公開日（公表日）： 2000年01月14日
要約：
【要約】【課題】 レンズアレイの集光レンズ毎の品質を効率よく検査することができるレンズアレイの検査方法、およびこの方法を用いた液晶装置の製造方法を実現すること。【解決手段】 複数の集光レンズLが面内方向に整列したレンズアレイLAを検査する際に、光源部52からレンズアレイLAに向けてコヒーレントな光を出射し、集光レンズLからそれぞれ出射されてくる集光レンズL毎の出射光をそれぞれ別々に、かつ、光軸に沿う複数位置で受光器PDの受光素子ユニットPDUで受光する。また、受光素子ユニットPDUは、集光レンズLからの出射光を面内方向の複数位置で受光する複数の受光面DE1〜DE16を備え、受光面毎に受光した結果に基づいて集光レンズLの光学的特性を検査する。
請求項（抜粋）：
複数の集光レンズが面内方向に整列したレンズアレイの当該集光レンズ毎の光学的特性を検査するための検査方法であって、光源部から前記レンズアレイに向けてコヒーレントな光を出射し、当該レンズアレイの各集光レンズからそれぞれ出射されてくる集光レンズ毎の出射光をそれぞれ別々に受光することによって当該集光レンズ毎の光学的特性を検査することを特徴とするレンズアレイの検査方法。
IPC (4件)：
G01M 11/00 ,  G02B 3/00 ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1335
FI (4件)：
G01M 11/00 L ,  G02B 3/00 A ,  G02F 1/13 101 ,  G02F 1/1335
Fターム (13件)：
2G086EE10 ,  2G086FF05 ,  2G086FF06 ,  2G086HH06 ,  2H088FA11 ,  2H088HA08 ,  2H088HA25 ,  2H088MA20 ,  2H091FA05Z ,  2H091FA29Z ,  2H091FA41Z ,  2H091GA13 ,  2H091LA30
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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