特許
J-GLOBAL ID：200903094231827277
弾性表面波素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮▼崎▲ 主税
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-311541
公開番号（公開出願番号）：特開2005-080202
出願日： 2003年09月03日
公開日（公表日）： 2005年03月24日
要約：
【課題】 圧電基板上にインターデジタル電極及び絶縁膜が形成されている弾性表面波素子において、インターデジタル電極における反射係数を増大でき、従って、所望でないリップルの抑圧を果たし得る弾性表面波素子を提供する。 【解決手段】 圧電基板2上に、インターデジタル電極3が形成されており、圧電基板2が電極を構成する導電膜が設けられている第1の領域と、導電膜が設けられていない第2の領域とを有し、少なくとも第2の領域に絶縁膜6が設けられており、上記第1の領域の少なくとも電極指が形成されている領域または第2の領域において、質量付加膜7が設けられている、弾性表面波素子1。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
圧電基板と、
前記圧電基板上に形成されており、導電膜からなり、複数本の電極指を有するインターデジタル電極と、
前記圧電基板は、前記インターデジタル電極を構成する導電膜が設けられている第1の領域と、導電膜が設けられていない第2の領域とを有し、
少なくとも前記第2の領域に設けられた絶縁膜をさらに備える弾性表面波素子において、
前記第1の領域の少なくとも電極指が形成されている領域または前記第2の領域に設けられた、質量付加膜をさらに備えることを特徴とする、弾性表面波素子。
IPC (5件)：
H03H9/145
, H01L41/09
, H01L41/187
, H01L41/22
, H03H9/25
H03H9/145 C
, H03H9/25 C
, H01L41/08 C
, H01L41/18 101B
, H01L41/22 Z
5J097AA01
, 5J097AA06
, 5J097AA19
, 5J097BB15
, 5J097FF01
, 5J097FF03
, 5J097FF05
, 5J097GG01
, 5J097GG03
, 5J097GG04
, 5J097GG05
, 5J097KK09
