特許

J-GLOBAL ID：200903094277526344

プラズマ処理装置、該装置の異常放電検出方法、プログラム、及び記憶媒体

発明者： 守屋 剛
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 渡部 敏彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-312689
公開番号（公開出願番号）：特開2006-128304
出願日： 2004年10月27日
公開日（公表日）： 2006年05月18日
要約：

【課題】 異常放電を精度良く検出することができるプラズマ処理装置を提供する。 【解決手段】 プラズマ処理装置2は、超音波センサ41と、電位プローブ50と、CPUを有するパーソナルコンピュータ52とを備え、CPUは、電位プローブ50に電位変動を検出させ、さらに、超音波センサ41に超音波を検出させ、電位変動が検出されたタイミングと同じタイミングで超音波が検出されたと判別した場合に、異常放電が発生したと判別する。【選択図】 図8

請求項（抜粋）：

基板を収容する収容室と、該収容室に配置され且つ前記収容室内に高周波電力を印加する電極と、前記収容室に処理ガスを導入する配管とを備えるプラズマ処理装置において、 電位変動を検出する電位変動検出手段と、 超音波を検出する超音波検出手段と、 前記電位変動が検出され且つ前記超音波が検出されたときに、異常放電が発生したと判別する異常放電判別手段とを備えることを特徴とするプラズマ処理装置。

IPC (2件)：

H01L 21/306 ,  H05H 1/00

FI (2件)：

H01L21/302 101B ,  H05H1/00 A

Fターム (8件)：

5F004BA04 ,  5F004CA09 ,  5F004CB02 ,  5F004CB05 ,  5F004CB06 ,  5F004CB20 ,  5F004DA00 ,  5F004DA26

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 超音波プローブの一部を内蔵した基板載置台及び超音波プローブ貫通孔の密閉装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-285985   出願人：科学技術振興事業団, 株式会社東京カソード研究所

審査官引用 (1件)

• 窓型プローブ、プラズマ監視装置、及び、プラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-122240   出願人：科学技術振興事業団, 株式会社東京カソード研究所