感光性ペースト

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-116374
公開番号（公開出願番号）：特開平9-304922
出願日： 1996年05月10日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：

【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストを提供する。【解決手段】感光性化合物を含む有機成分と無機微粒子と可視光感光型の重合開始剤を必須成分とする感光性ペーストであって、無機微粒子の平均屈折率と有機成分の屈折率差を0.03以下にする。

請求項（抜粋）：

感光性化合物を含む有機成分と無機微粒子と可視光感光型の重合開始剤を必須成分とする感光性ペースト。

IPC (2件)：

G03F 7/004 501 , H01J 9/02

FI (2件)：

G03F 7/004 501 , H01J 9/02 F

引用特許：

審査官引用 (9件)

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