特許
J-GLOBAL ID:200903094434575737

光学計測用炭素基板とその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (5件): 青木 篤 ,  鶴田 準一 ,  島田 哲郎 ,  土屋 繁 ,  西山 雅也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-366197
公開番号(公開出願番号):特開2005-127965
出願日: 2003年10月27日
公開日(公表日): 2005年05月19日
要約:
【課題】 不透明な材料を基板として用いて光学計測を可能とするため表面が極めて平坦な炭素基板を比較的低コストで提供する。【解決手段】 フラン樹脂などの熱硬化性樹脂に粒径10μm以下の黒鉛粉末を混合しシート状に成型後不活性雰囲気下で1400°Cで焼成して得られた炭素基板の表面を平坦に研削する。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
ガラス状炭素と該ガラス状炭素中に均一に分散した結晶性炭素とを含む光学計測用炭素基板。
IPC (1件):
G01N21/01
FI (1件):
G01N21/01 B
Fターム (9件):
2G045DA13 ,  2G045FA11 ,  2G045FA16 ,  2G045FB16 ,  2G059AA05 ,  2G059BB12 ,  2G059CC16 ,  2G059DD13 ,  2G059KK07
引用特許:
出願人引用 (5件)
全件表示
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る