特許

J-GLOBAL ID：200903094438755748

走査型電子顕微鏡

発明者： 二宮 健 ,  黒田 勝広 ,  久▲禮▼ 得男 ,  戸所 秀男 ,  寺門 貞夫 ,  水野 文夫 ,  山田 悟
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-100685
公開番号（公開出願番号）：特開平6-310075
出願日： 1993年04月27日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【目的】半導体製造プロセスにおける半導体ウエハ用観察装置を提供する。【構成】試料4に電子線3を照射して、電子線照射により試料4表面から放出される電子5を、シンチレータ6および検出器7を用いて検出する。電子線3のエネルギは、0.5 〜100keVの範囲内で任意に設定可能である。【効果】電子線のエネルギを観察対象あるいは目的に応じて設定できるため、観察対象を容易に発見でき、かつ孔や溝内部を詳細に観察できる。さらに、試料の損傷を最小限に抑えることができる。

請求項（抜粋）：

試料に加速,収束した電子線を照射し、その照射により発生する電子を検出して試料を観察する走査型電子顕微鏡において、電子線のエネルギを0.5keV以上100keV以下の範囲内で任意に設定する手段を設けたことを特徴とする走査型電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/28 ,  H01L 21/66