特許

J-GLOBAL ID：200903094468415909

ウェーハの搬送保持機構及びウェーハの吸着方法

発明者： 藤村 欣也
出願人/特許権者： 株式会社東京精密
代理人 (1件)： 石田 敬 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-298277
公開番号（公開出願番号）：特開2000-124298
出願日： 1998年10月20日
公開日（公表日）： 2000年04月28日
要約：

【要約】【課題】 反りの大きなウェーハも確実に吸着できるウェーハの搬送保持機構の実現。【解決手段】 ウェーハ100 を吸着する吸着ステージ4と、ウェーハを吸着ステージ上に搬送する搬送機構とを備えるウェーハの搬送保持機構において、吸着ステージ4上に搬送されたウェーハ100 に接触して、ウェーハを吸着ステージに押し付けるウェーハ押し付け手段41を備える。

請求項（抜粋）：

ウェーハを吸着する吸着ステージと、前記ウェーハを前記吸着ステージ上に搬送する搬送機構とを備えるウェーハの搬送保持機構において、前記吸着ステージ上に搬送された前記ウェーハに接触して、該ウェーハを前記吸着ステージに押し付けるウェーハ押し付け手段を備えることを特徴とするウェーハの搬送保持機構。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  H01L 21/66

FI (2件)：

H01L 21/68 P ,  H01L 21/66 B

Fターム (14件)：

4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106BA14 ,  4M106DJ02 ,  4M106DJ40 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031HA13 ,  5F031JA10 ,  5F031JA47 ,  5F031MA33

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 画像形成用露光装置とワーク位置決め方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-338984   出願人：株式会社オーク製作所