金属化層を有する窒化アルミニウム焼結体及びその製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：酒井正己 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-154384
公開番号（公開出願番号）：特開2003-342088
出願日： 2002年05月28日
公開日（公表日）： 2003年12月03日
要約：

【要約】【課題】窒化アルミニウムと金属化層との接合強度が高く、金属化層内にクラックのない金属化層を有する窒化アルミニウム焼結体を提供すること。【解決手段】表面及び/または内部に金属化層を有する窒化アルミニウム焼結体において、前記金属化層を、導体高融点金属であるWと、Al2O3、SiO2及びMgOから選ばれる少なくとも1種類以上からなるマッチング用無機物とから構成する。前記マッチング用無機物の平均粒径を0.3μm以上、5μm以下とし、また、マッチング用無機物の材料をスピネル又は前記酸化物の混合体を融点以上でガラス化した後に粉砕した無機物粉末を使用することで、より金属化層と窒化アルミニウムとの接合強度を高めることができる。

請求項（抜粋）：

表面及び/または内部に金属化層を有する窒化アルミニウム焼結体において、前記金属化層は導体高融点金属とマッチング用無機物からなり、前記導体高融点金属はWであり、前記マッチング用無機物の平均粒径が0.3μm以上、5μm以下であることを特徴とする金属化層を有する窒化アルミニウム焼結体。

IPC (5件)：

C04B 41/88 , C04B 35/581 , C04B 35/64 , H01L 23/13 , H01L 23/14

FI (5件)：

C04B 41/88 Q , C04B 35/58 104 Z , C04B 35/64 G , H01L 23/12 C , H01L 23/14 M

Fターム (13件)：

4G001BA03 , 4G001BA04 , 4G001BA06 , 4G001BA36 , 4G001BA61 , 4G001BB03 , 4G001BB04 , 4G001BB06 , 4G001BB36 , 4G001BB61 , 4G001BD03 , 4G001BD23 , 4G001BE31

引用特許：

審査官引用 (2件)

金属化層を有する窒化アルミニウム焼結体の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-097201 出願人：住友電気工業株式会社
メタライズ組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-146345 出願人：株式会社トクヤマ

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