特許
J-GLOBAL ID：200903094490506918
生産制御システムおよび生産制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-137143
公開番号（公開出願番号）：特開平9-320918
出願日： 1996年05月30日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：
【要約】【課題】製造を行おうとする製品の製造データが数百データにもわたる場合、莫大なデータ入力工数を要するし、またそのデータの入力ミスが発生しやすいのでこれらの要因を改善する。【解決手段】変更指示データ分類部60および自動一括変更処理部70を備えて、一度の指示で複数の工程手順データ51共通の変更を行う。
請求項（抜粋）：
半導体装置の製造条件を設定する際の複数品種の工程製造条件を変更する場合において、システム変更機能として品種・工程・製造条件の組み合わせパターンで一括自動変更可能な機能を備えたことを特徴とする生産制御システム。
IPC (3件)：
H01L 21/02
, G05B 15/02
, G06F 17/60
H01L 21/02 Z
, G05B 15/02 Z
, G06F 15/21 R
