特許
J-GLOBAL ID：200903094525107469

圧電共振器およびそれを用いたフィルタならびに電子部品

発明者：
井上 憲司

井上 憲司 について

, 
斉藤 久俊

斉藤 久俊 について


出願人/特許権者：
TDK株式会社

TDK株式会社 について


代理人 (2件)： 大畑 敏朗 ,  栗原 聖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-205137
公開番号（公開出願番号）：特開2005-051447
出願日： 2003年07月31日
公開日（公表日）： 2005年02月24日
要約：
【課題】圧電共振器において、温度特性を改善しつつQ値の劣化を抑制する。【解決手段】基板11上に形成された下部電極24と、下部電極24上に形成された圧電膜23と、圧電膜23上に形成され、圧電膜23の内部を伝搬するバルク波により下部電極24と協働して所定の共振周波数の信号を得る上部電極25と、上部電極25上に交互に積層形成された所定の音響インピーダンスを有するSiO2膜28aおよびSiO2膜28aよりも高い音響インピーダンスを有するAlN膜28bから構成されるとともにSiO2膜28aが上部電極25に接し、バルク波を反射する音響多層反射膜28とを備えた構成とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に形成された第1の電極膜と、 前記第1の電極膜上に形成された圧電膜と、 前記圧電膜上に形成され、当該圧電膜の内部を伝搬するバルク波により前記第1の電極膜と協働して所定の共振周波数の信号を得る第2の電極膜と、 前記第2の電極膜上に交互に積層形成された所定の音響インピーダンスを有する第1の音響膜およびこの第1の音響膜よりも高い音響インピーダンスを有する第2の音響膜から構成されるとともに前記第1の音響膜が前記第2の電極膜に接し、前記バルク波を反射する音響多層反射膜と、 を備えたことを特徴とする圧電共振器。
IPC (4件)：
H03H9/17 ,  H01L41/09 ,  H01L41/187 ,  H03H9/02
FI (4件)：
H03H9/17 F ,  H03H9/02 N ,  H01L41/08 C ,  H01L41/18 101B
Fターム (6件)：
5J108AA03 ,  5J108BB07 ,  5J108BB08 ,  5J108CC11 ,  5J108JJ01 ,  5J108KK07
引用特許：
審査官引用 (2件)
  • 音響素子の音響反射材
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-154665   出願人：エイゲアシステムズガーディアンコーポレーション
  • 圧電フィルタ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-008515   出願人：株式会社村田製作所

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