特許
J-GLOBAL ID：200903094535452458
光学式走査装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-200786
公開番号（公開出願番号）：特開平6-195727
出願日： 1993年08月12日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 焦点クロトスークに対するスポットの径方向位置の影響を一層低減した光学式走査装置を提供することにある。【構成】 放射源(7)から放出された、放射は対物レンズ系(8)により情報面(2)上に集束する。情報面で反射したビームは例えば回折格子(12)から成る分割素子に入射し、分割線(17)に沿って2個の半部に分割される。分割線の両側の2個のサブ格子(15,16)によりそれぞれサブビームが形成され、これらサブビームは検出系(10)により検出される。焦点誤差信号は検出信号から発生する。本発明では、分割線(17)をトラック方向に対して15 ゚と80 ゚との間の角度をなすように配置しているので、トラック構体による焦点誤差信号の変調が最小になる。
請求項（抜粋）：
放射反射性情報面(2)のトラック(4)を光学的に走査する装置であって、走査ビーム(6)を発生する放射源(7)と、走査ビームを情報面上に走査スポット(Sa)として集束させる対物レンズ系(8)と、分割線(17)の両側に対称的に位置する2個のサブ区域(15,16)を有し、情報面からの放射の通路中に配置されて前記放射の少なくとも一部を2本の走査サブビーム(13,14)に分割する分割素子(12,55)と、放射感知検出系(10)とを具える光学式走査装置において、前記分割線と有効トラック方向との間の角度を15 ゚と80 ゚との間の角度としたことを特徴とする光学式走査装置。
引用特許：
前のページに戻る
