特許

J-GLOBAL ID：200903094540095604

ウエハー加熱装置および加熱装置用電極部材

発明者： 小川 武 ,  森岡 太郎 ,  倉田 英治 ,  井上 克郎 ,  小坂井 守
出願人/特許権者： 住友大阪セメント株式会社
代理人 (1件)： 土橋 皓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-305635
公開番号（公開出願番号）：特開平7-161725
出願日： 1993年12月06日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：

【要約】【目的】 抵抗加熱ヒーターによるウエハーの加熱を均一化させるウエハー加熱装置およびその電極部材に関し、被加熱物の加熱位置に存在する電極部の周辺温度の低下を抑制して、被加熱物の均熱性を向上させるようにすることを目的とする。【構成】 容器内に通電加熱型のヒーターを設置したヒーターユニットにおいて、被加熱物の加熱位置に配置する電極部材の電極構造が、該電極部材の一部もしくは全体における単位長さ当りの抵抗値がヒーター部材の単位長さ当りの抵抗値より高く、かつ、上記ヒーター部材よりも通電時に発熱量が大きい部分を有するように構成する。

請求項（抜粋）：

容器内に通電加熱型のヒーターを設置したヒーターユニットにおいて、被加熱物の加熱位置に配置する電極部材の電極構造が、該電極部材の一部もしくは全体における単位長さ当りの抵抗値がヒーター部材の単位長さ当りの抵抗値より高く、かつ、上記ヒーター部材よりも通電時に発熱量が大きい部分を有することを特徴とするウエハー加熱装置。

IPC (3件)：

H01L 21/324 ,  H05B 3/03 ,  H05B 3/20 335

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-075329
  
• 特開平4-075329
  
• ウエーハ加熱用ヒータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-276969   出願人：国際電気株式会社