特許
J-GLOBAL ID：200903094542299495
投影光学系
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-152857
公開番号（公開出願番号）：特開平10-325922
出願日： 1997年05月26日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：
【要約】【課題】高い解像力と広い露光領域を有し、しかも使用レンズ枚数が十分に少ない投影光学系を提供する。【解決手段】第1面Rの像を第2面Wに投影する固定焦点の投影光学系において、第1面R側から第2面W側に向けて順に、2枚以上の正レンズを含む正屈折力の第1レンズ群G<SB>1</SB>と、2枚以上の負レンズを含む負屈折力の第2レンズ群G<SB>2</SB>と、3枚以上の正レンズを含む正屈折力の第3レンズ群G<SB>3</SB>と、2枚以上の負レンズを含む負屈折力の第4レンズ群G<SB>4</SB>と、連続した少なくとも5枚以上の正レンズを含む正屈折力の第5レンズ群G<SB>5</SB>とで構成され、第1レンズ群と第2レンズ群とのいずれか一方に1面の非球面*を含み、第4レンズ群と第5レンズ群とのいずれか一方に1面の非球面*を含み、且つ、Σ<SB>i</SB>D<SB>i</SB>:レンズの中心厚の総和、L:第1面Rから第2面Wまでの距離、としたとき、0.4<Σ<SB>i</SB>D<SB>i</SB>/L<0.6、その他の条件を満たすことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
第1面の像を第2面に投影する固定焦点の投影光学系において、前記第1面側から第2面側に向けて順に、2枚以上の正レンズを含む正屈折力の第1レンズ群と、2枚以上の負レンズを含む負屈折力の第2レンズ群と、3枚以上の正レンズを含む正屈折力の第3レンズ群と、2枚以上の負レンズを含む負屈折力の第4レンズ群と、連続した少なくとも5枚以上の正レンズを含む正屈折力の第5レンズ群とで構成され、前記第1レンズ群と第2レンズ群とのいずれか一方に1面の非球面を含み、前記第4レンズ群と第5レンズ群とのいずれか一方に1面の非球面を含み、且つ、以下の条件を満たすことを特徴とする投影光学系。0.4<Σ<SB>i</SB>D<SB>i</SB>/L<0.6 (1)0.05<f<SB>2</SB>/f<SB>4</SB><6 (2)0.01<f<SB>5</SB>/L<1.2 (3)-0.8<f<SB>4</SB>/L<-0.008 (4)-0.5<f<SB>2</SB>/L<-0.005 (5)但し、Σ<SB>i</SB>D<SB>i</SB>:レンズの中心厚の総和L:前記第1面から第2面までの距離f<SB>2</SB>:前記第2レンズ群の焦点距離f<SB>4</SB>:前記第4レンズ群の焦点距離f<SB>5</SB>:前記第5レンズ群の焦点距離である。
IPC (5件)：
G02B 13/24
, G02B 13/14
, G02B 13/18
, G03F 7/20 521
, H01L 21/027
G02B 13/24
, G02B 13/14
, G02B 13/18
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 515 D
