特許

J-GLOBAL ID：200903094566550520

透明導電膜のエッチング液組成物

発明者： 蛭田 郁夫
出願人/特許権者： 東芝電子エンジニアリング株式会社 ,  株式会社東芝
代理人 (1件)： 須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-361777
公開番号（公開出願番号）：特開2001-176864
出願日： 1999年12月20日
公開日（公表日）： 2001年06月29日
要約：

【要約】【課題】 シュウ酸水溶液で透明導電膜をエッチングする際に生じる残渣を低減すると共に、エッチング速度を安定化する。【解決手段】ドデシルベンゼンスルホン酸とシュウ酸と水を配合してエッチング液組成物を構成する。

請求項（抜粋）：

ポリオキシエチレンリン酸エステルとシュウ酸と水を配合してなることを特徴とする酸化インジウム錫膜用のエッチング液組成物。

IPC (4件)：

H01L 21/308 ,  C09K 13/06 101 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 330

FI (4件)：

H01L 21/308 Z ,  C09K 13/06 101 ,  G02F 1/1343 ,  G09F 9/30 330

Fターム (29件)：

2H092GA05 ,  2H092GA13 ,  2H092KB14 ,  2H092MA14 ,  2H092MA15 ,  2H092MA18 ,  2H092NA15 ,  2H092NA16 ,  2H092NA25 ,  2H092NA27 ,  2H092NA29 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094AA46 ,  5C094AA55 ,  5C094DA13 ,  5C094EA05 ,  5C094EB02 ,  5C094FB02 ,  5C094FB04 ,  5C094FB12 ,  5C094FB20 ,  5C094GB10 ,  5C094JA01 ,  5F043AA26 ,  5F043AA40 ,  5F043BB18 ,  5F043DD10 ,  5F043GG10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-048631
  
• 透明導電膜のエッチング液組成物
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-325694   出願人：関東化学株式会社