紫外線照射装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-195706
公開番号（公開出願番号）：特開平6-045229
出願日： 1992年07月23日
公開日（公表日）： 1994年02月18日
要約：

【要約】【目的】紫外域の光による光学部材の曇りを防止する。【構成】照明光学系7の光学部材は遮蔽部8、9、10により外部から遮蔽されている。遮蔽部の金属製の壁面に誘電体14を設けることより、浮遊物のイオン化を防止するとともに、帯電によりイオン物質を吸着する。誘電体14を設けることにより、紫外域の光の照射により発生するイオン物質の付着による光学部材の曇りを低減する。

請求項（抜粋）：

紫外域の光を射出する光源と被照射物に前記紫外光を照射する光学系と前記光学系の光路をはずれる前記紫外域の光を遮光する金属性の壁面を備えた遮蔽部とを有する紫外線照射装置において、前記壁面に前記紫外域の光に対して耐性を有する誘電体を設けたことを特徴とする紫外線照射装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭63-001030
特開平2-250309
特開平3-261127

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