特許
J-GLOBAL ID：200903094670951049
光導波路およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-278216
公開番号（公開出願番号）：特開平10-123341
出願日： 1996年10月21日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 石英系ガラス光導波路とシリコン光導波路とが同一基板上に集積した光導波路およびその製造方法を提供すること。【解決手段】 基板上に形成された光を伝搬するコアおよび前記コアより屈折率の低いクラッドにより構成される光導波路において、前記光導波路が、ともに石英系ガラスで構成されるコア部およびクラッド部を有する石英系ガラス光導波路部と、シリコンで構成されるコア部および石英系ガラスで構成されるクラッド部を有するシリコン光導波路部とから成り、前記石英系ガラス光導波路部と前記シリコン光導波路部が間隙なく、あるいは間隙を挟んで互いに直列に接続されている光導波路。
請求項（抜粋）：
基板上に形成された光を伝搬するコアおよび前記コアより屈折率の低いクラッドにより構成される光導波路において、前記光導波路が、ともに石英系ガラスで構成されるコア部およびクラッド部を有する石英系ガラス光導波路部と、シリコンで構成されるコア部および石英系ガラスで構成されるクラッド部を有するシリコン光導波路部とから成り、前記石英系ガラス光導波路部と前記シリコン光導波路部が間隙なく互いに直列に接続されていることを特徴とする光導波路。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02B 6/12 A
, G02B 6/12 M
