特許
J-GLOBAL ID：200903094728660112
貼付けウエハ分離装置および貼付けウエハ分離方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宮田 金雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-400104
公開番号（公開出願番号）：特開2003-197724
出願日： 2001年12月28日
公開日（公表日）： 2003年07月11日
要約：
【要約】【課題】 接着剤で貼り付けられたウエハと支持基板を確実に分離する装置および方法を実現する。【解決手段】 本発明の貼付けウエハ分離装置は、支持基板に貼付けられたウエハを吸着させて保持する下部吸着面を有する下部吸着機構と、下部吸着機構の直上部を原点位置とした上部吸着面およびローラーを具備しかつカ ゙イト ゙レールに沿って直線方向に移動自在な上部吸着機構と、上部吸着機構から所定距離離れた部位に上部吸着機構の側面部で上部吸着面近傍の部位に結合あるいは接触させた水平方向駆動機構と、水平面に対して傾斜させたテーハ ゚付レールと、を備え、水平方向駆動機構の移動によって上部吸着機構が原点位置から水平方向に所定距離移動した際に初めてローラーが前記テーハ ゚付レールに接触し水平方向駆動機構のさらなる移動とともにローラーが上部吸着面を押し上げながらテーハ ゚付レール上を転動する。
請求項（抜粋）：
支持台と、前記支持台上に設けられ、接着剤を介して支持基板に貼付けられたウエハを吸着させて保持する下部吸着面を有する下部吸着機構と、前記下部吸着機構の直上部を原点位置として前記支持基板の上面側を吸着させて保持する上部吸着面を具備しガイドレールに沿って直線方向に移動自在な上部吸着機構と、前記支持台上に設けられ、前記上部吸着機構の側面部で上部吸着面近傍の部位に結合あるいは接触して前記上部吸着機構と連動して移動することにより前記上部吸着面に対して水平方向の応力を加える水平方向駆動機構と、を備えたことを特徴とする貼付けウエハ分離装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, B23Q 3/08
, H01L 21/304 622
H01L 21/68 N
, B23Q 3/08 Z
, H01L 21/304 622 L
3C016DA15
, 5F031CA02
, 5F031GA24
, 5F031HA13
, 5F031MA37
