特許
J-GLOBAL ID:200903094754620226

耐摩耗性被膜およびその製造方法ならびに耐摩耗部材

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 上代 哲司 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-304960
公開番号(公開出願番号):特開2000-129445
出願日: 1998年10月27日
公開日(公表日): 2000年05月09日
要約:
【要約】【課題】 PVD法による被膜は、耐摩耗性、耐熱性が不十分であり、CVD法による被膜は膜に引っ張り応力が入っており、衝撃に弱く、耐摩耗性も不十分である。PVD法、CVD法による非晶質のAlの酸化物層は、使用中に膜にクラックが入りやすい。【解決手段】 AlとAl以外の酸化物構成元素の酸化物からなる結晶質の酸化物層を含む被膜により耐摩耗性を向上させる。Al以外の酸化物構成元素はIVa,Va,VIa族元素、BおよびSiから選ばれる1種類以上の元素からなる。
請求項(抜粋):
少なくとも一つの酸化物層を含む耐摩耗性被膜であって、当該酸化物層は、少なくともAlとAl以外の酸化物構成元素の酸化物からなり、Al以外の酸化物構成元素はIVa,Va,VIa族元素、BおよびSiから選ばれる1種類以上の元素からなり、結晶質であることを特徴とする耐摩耗性被膜。
IPC (3件):
C23C 16/40 ,  C23C 14/08 ,  B23B 27/14
FI (3件):
C23C 16/40 ,  C23C 14/08 K ,  B23B 27/14 A
Fターム (15件):
3C046FF02 ,  3C046FF03 ,  3C046FF05 ,  3C046FF09 ,  3C046FF10 ,  3C046FF11 ,  3C046FF19 ,  3C046FF25 ,  4K029AA04 ,  4K029BA50 ,  4K029BB07 ,  4K029BC02 ,  4K029BD04 ,  4K029BD05 ,  4K029EA01
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (14件)
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