特許
J-GLOBAL ID：200903094769956549
リソグラフィシステムにおけるユーティリティ輸送システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 青山 正和
, 西 和哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-543953
公開番号（公開出願番号）：特表2007-514319
出願日： 2004年12月06日
公開日（公表日）： 2007年05月31日
要約：
リソグラフィシステムにおいて、ステージに影響を与える物理的な外乱を最小化しながら、レチクルステージ又はウエハステージにあるいはレチクルステージ又はウエハステージからユーティリティを輸送する技術が記述される。これらの技術は、ステージと物理的に接触することなく、ステージに又はステージからユーティリティを輸送することを含む。また、ユーティリティは、ステージが静止位置にある間に、ステージと物理的に接触することによって輸送される。ステージに又はステージからユーティリティを輸送することに加えて、処理装置、バッファ(記憶媒体)、電気構成要素、及び機械構成要素をステージ内に配置して、輸送されたユーティリティを使用又は制御することができる。
請求項（抜粋）：
照明源と;
光学系と;
ウエハ又はレチクルを支持するのに適したステージと;
前記ステージを支持するフレームと;
前記ステージの内部又はその表面に配置され、前記ステージと前記フレームとの間でユーティリティを輸送するステージユーティリティ輸送手段と;
前記フレームの内部又はその表面に配置され、前記ステージと前記フレームとの間でユーティリティを輸送するフレームユーティリティ輸送手段と、を備え、
前記ステージと前記フレームとの間でユーティリティが輸送される間、前記ステージ及び前記フレームを、互いに物理的に離れたままにできる、リソグラフィシステム。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20
, H01L 21/683
H01L21/30 515F
, G03F7/20 521
, H01L21/30 515G
, H01L21/68 N
5F031CA02
, 5F031CA07
, 5F031HA55
, 5F031HA56
, 5F031PA26
, 5F031PA30
, 5F046CC01
, 5F046CC02
, 5F046CC20
