特許
J-GLOBAL ID：200903094782539825
液体噴射ヘッド
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-214600
公開番号（公開出願番号）：特開平8-112896
出願日： 1995年08月23日
公開日（公表日）： 1996年05月07日
要約：
【要約】【課題】 二酸化珪素層における空洞の形成および電極の隣接する層からの剥離がなく、信頼性が高く、かつ性能に優れた液体噴射ヘッドおよびその製造法の提供。【解決手段】 珪素基板上に厚さ1100オングストローム以上のタンタル層を介して圧電素子を設け、さらにこの圧電素子においてタンタル層と電極間または電極と圧電膜の間に酸化チタンまたはその合金の酸化物の層を設ける。
請求項（抜粋）：
液体を微細なノズルより噴射させる噴射ヘッドであって、該ヘッドが、-噴射すべき液体を保持するための液室が形成された単結晶珪素基板と、-前記液室に連通するノズルと、-前記液室上に形成された振動板と、-前記振動板上に形成された、鉛を含有してなる圧電膜とその圧電膜を挟む下電極と上電極とからなる圧電素子と、そして-前記振動板と前記下電極との間に設けられた、酸化タンタルを含んでなるタンタル層とを備えてなり、前記圧電素子を駆動し振動板をたわませて液室の体積を変化させることにより、前記液室内にある液体をノズルを介して外部に噴射させるものであり、前記圧電膜の厚さが1μm以上であり、かつ前記タンタル層の厚さが1100オングストローム以上である、液体噴射ヘッド。
IPC (4件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
, H01L 41/08
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
, H01L 41/08 Z
