特許
J-GLOBAL ID：200903094788421133
合成石英ガラス製光学部材およびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-106576
公開番号（公開出願番号）：特開2005-336047
出願日： 2005年04月01日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：
【課題】KrFエキシマレーザ、ArFエキシマレーザなどの光源から発せられる高エネルギー光の照射により発生する合成石英ガラスの照射部の屈折率変化量を低減する。【解決手段】使用するレーザ光のエネルギー密度に応じて光学部材のOH基濃度を設定することによって、レーザによる累積照射エネルギー量(KJ/cm2)に対する光学部材の屈折率変化量の比R(KJ/cm2・ppb)-1を0≦R≦0.2とし、レーザ光照射による合成石英ガラス製光学部材の屈折率変化量を一定範囲内とする合成石英ガラス製光学部材の製造方法。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ArFエキシマレーザ光あるいはKrFエキシマレーザ光を光源とする光学装置内で、所定のエネルギー密度にて使用される合成石英ガラス製光学部材の製造方法であって、
使用するレーザ光のエネルギー密度に応じて光学部材のOH基濃度を設定することによって、レーザによる累積照射エネルギー量(KJ/cm2)に対する光学部材の屈折率変化量の比R(KJ/cm2・ppb)-1を0≦R≦0.2とする工程を含むことを特徴とする合成石英ガラス製光学部材の製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (1件)：
引用特許：
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