特許
J-GLOBAL ID：200903094800462290
表面形状取得装置及び表面形状取得方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-058903
公開番号（公開出願番号）：特開平9-250922
出願日： 1996年03月15日
公開日（公表日）： 1997年09月22日
要約：
【要約】【課題】 探針を所定の間隔で移動させながら被測定物に接触させて微細な凹凸形状を取得する表面形状取得装置及び表面形状取得方法において、測定時間を短縮し、測定精度を向上させる。【解決手段】 探針の振動を検出するギャップセンサアンプ25の出力を、制御部21から出力されたZ(上下方向)微動信号にフィードバックする。また、プローブ10を下降する際に、下降速度をゼロから徐々に増加する。更に、プローブ10の上昇距離を、プローブ10の先端に設けられた探針の形状及び被測定物の凹凸の最大値に基づいて決定する。
請求項（抜粋）：
上下方向に移動可能に支持されて被測定物との接触を検出するプローブと、このプローブを上下方向に移動させるプローブ上下方向移動手段と、前記プローブを前記被測定物に対し水平方向に移動させる水平方向移動手段と、前記プローブの出力を前記プローブ上下方向移動手段にフィードバックして前記プローブの振動を低減する振動低減手段とを有することを特徴とする表面形状取得装置。
引用特許：
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