特許

J-GLOBAL ID：200903094809458407

硬基板塗布方法

発明者： 江本 辰弥 ,  八尾 泰敬 ,  尾崎 正文 ,  熊谷 広文 ,  山崎 信哉
出願人/特許権者： 富士写真フイルム株式会社
代理人 (1件)： 山田 文雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-148239
公開番号（公開出願番号）：特開平6-338448
出願日： 1993年05月28日
公開日（公表日）： 1994年12月06日
要約：

【要約】【目的】 下部が塗布液槽に浸漬されたマイクロロッドバーと、このマイクロロッドバーの上方に対向配置されたニップローラとの間に硬基板を挟んで送ることにより、硬基板の下面に塗布液を塗布する硬基板塗布方法において、硬基板の先端付近に薄塗り部分が発生するのを防止し、製品の歩留まりを向上させる。【構成】 硬基板の先端がマイクロロッドバーに接触した後所定時間経過するまでの期間で、マイクロロッドバーの周速度を硬基板の送り速度より相対的に減速させ、マイクロロッドバーとこれを通過した硬基板下面とで挟まれる角にほぼ一定量の塗布液の液溜りを形成させた後、マイクロロッドバーの周速度を硬基板の送り速度に一致させるように制御する。

請求項（抜粋）：

下部が塗布液槽に浸漬されたマイクロロッドバーと、このマイクロロッドバーの上方に対向配置されたニップローラとの間に硬基板を挟んで送ることにより、前記硬基板の下面に塗布液を塗布する硬基板塗布方法において、前記硬基板の先端が前記マイクロロッドバーに接触した後所定時間経過するまでの期間で、前記マイクロロッドバーの周速度を前記硬基板の送り速度より相対的に減速させ、前記マイクロロッドバーとこれを通過した前記硬基板下面とで挟まれる角にほぼ一定量の塗布液の液溜りを形成させた後、前記マイクロロッドバーの周速度を前記硬基板の送り速度に一致させるように制御することを特徴とする硬基板塗布方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  B05D 1/28 ,  G03F 7/16

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 塗布方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-293208   出願人：京セラ株式会社
• 特開平2-258085