特許
J-GLOBAL ID：200903094809492443

三次元測定機の測定誤差補正装置

発明者：
鶴田 智樹

鶴田 智樹 について


出願人/特許権者：
株式会社ミツトヨ

株式会社ミツトヨ について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-077187
公開番号（公開出願番号）：特開平8-247756
出願日： 1995年03月08日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：
【要約】【目的】 三次元測定機ににおいて、コラムの静的および動的な回転運動によって発生する測定誤差をリアルタイムに検出補正する装置を提供する。【構成】 被測定物を載置する定盤とは垂直であり、摺動のための駆動力を受ける三次元測定機のコラムは、摺動に伴い静的あるいは動的に回転運動を生じる。この回転運動の角度をコラム上部に設けたジャイロセンサで検出して、この角度から補正量ベクトルを求め、測定座標値をリアルタイムに補正する。
請求項（抜粋）：
被測定物を載置する定盤と、前記定盤に対して垂直に取り付けられて直線移動のための駆動力を受けるコラムと、このコラムに取り付けられコラムの移動方向とは異なる方向へ移動する移動機構とを備え、この移動機構に取り付けられたプローブを用いて前記被測定物表面の三次元座標値を測定する三次元測定機において、前記コラムの上部に配設されコラムの中心軸周りの回転角度を検出するジャイロセンサと、前記ジャイロセンサからの検出値を大きさとするコラムの中心軸に平行なベクトルと、前記コラムが駆動力を受ける位置からプローブ先端に装着された球状測定子の中心に至るベクトルとの外積から補正量ベクトルを算出する補正量算出手段と、前記補正量ベクトルと三次元測定機の補正前の測定座標値を加算した座標値を求める補正座標値算出手段と、を備えたことを特徴とする三次元測定機の測定誤差補正装置。
引用特許：
審査官引用 (4件)
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