特許
J-GLOBAL ID：200903094813191059
NOxセンサの製造方法及びNOxセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 祥泰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-171015
公開番号（公開出願番号）：特開平11-002621
出願日： 1997年06月11日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：
【要約】【課題】 製造中に蒸発したAuによる検出セルの電極を汚染防止ができるNOxセンサの製造方法を提供すること。【解決手段】 基準ガス室151と検出セル130と基板17とによって形成されたサンプルガス室161と,両者の間に設けられたNOx濃度検出用の検出セル130よりなる主体部12と,上記サンプルガス室161に対面配設され,該サンプルガス室161に酸素ガスを排出及び導入するためのポンプセル110を設けたポンプセル体11とよりなるNOxセンサ1を製造するに当たり,上記主体部12及び上記ポンプセル体11を別体に作製し,次いで両者をそれぞれ別々に焼成し,その後両者を一体化してなる。
請求項（抜粋）：
基準ガス室と一部が酸素イオン導電性の固体電解質基板によって形成されたサンプルガス室と両者の間に設けられたNOx濃度検出用の検出セルよりなる主体部と,上記サンプルガス室に対面配設され,該サンプルガス室に酸素ガスを排出及び導入するためのポンプセルを設けたポンプセル体とよりなるNOxセンサを製造するに当たり,まず,上記主体部及び上記ポンプセル体を別体に作製し,次いで両者をそれぞれ別々に焼成し,その後両者を一体化してなることを特徴とするNOxセンサの製造方法。
IPC (2件)：
G01N 27/416
, G01N 27/419
G01N 27/46 331
, G01N 27/46 327 J
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (9件)
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