プローバ、照明装置、光学顕微鏡及び撮像装置

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (5件)：青木篤 , 鶴田準一 , 島田哲郎 , 小林龍 , 西山雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-383806
公開番号（公開出願番号）：特開2005-150296
出願日： 2003年11月13日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：

【課題】予熱が不要であり、電気ノイズが少なく、照度調整が可能でかつ長寿命な、目視顕微鏡用の照明を有するプローバを提供する。【解決手段】プローバを、観察対象であるウエハの上方に、顕微鏡の周囲にリング状に配列される、複数グループの複数の発光ダイオード51i〜62i、51o〜62oからなる発光部50を備え、各グループの発光ダイオードの光軸は、顕微鏡を使用する複数のワーキングディスタンスにそれぞれ対応して、顕微鏡の視野内に向けられて傾斜するように構成する。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

半導体ウエハに形成されたチップの特性を測定するプローバにおいて、前記ウエハの上方にリング状に配列される、複数の発光ダイオードを備えることを特徴とするプローバ。

IPC (4件)：

H01L21/66 , F21S8/04 , G01R1/06 , G01R31/28

FI (4件)：

H01L21/66 B , G01R1/06 E , G01R31/28 K , F21S1/02 G

Fターム (16件)：

2G011AA17 , 2G011AC06 , 2G011AC33 , 2G011AE03 , 2G132AA00 , 2G132AB01 , 2G132AE01 , 2G132AE04 , 2G132AF01 , 2G132AF06 , 2G132AF07 , 2G132AF15 , 2G132AL04 , 4M106AA01 , 4M106BA01 , 4M106DD30

引用特許：

出願人引用 (1件)

ウェーハプローバ
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-050916 出願人：株式会社東京精密

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