特許
J-GLOBAL ID:200903094862047028
マイクロ流体チップ及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
梶山 佶是
, 山本 富士男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-235244
公開番号(公開出願番号):特開2006-053064
出願日: 2004年08月12日
公開日(公表日): 2006年02月23日
要約:
【課題】 特別なポンプやバルブを必要とせずに、極微量の液体を送液又は秤取することができるマイクロ流体チップを提供する。【解決手段】 対面基板と、第1の基板と、薄膜と、第2の基板との少なくとも4層構造からなり、 前記第1の基板は、前記対面基板接合面側に、少なくとも1本の空気通路と、この通路の両端に配設された第1の貫通孔と第2の貫通孔とを有し、 前記薄膜は前記第1の基板の各貫通孔の開口部を密閉すると共に、前記空気通路及び各貫通孔内が真空状態に保たれることにより、前記各貫通孔内に凹陥してそれぞれ対応する第1の凹陥部及び第2の凹陥部を形成しており、 前記第2の基板は、前記薄膜接合面側に少なくとも1本の微細流路を有し、該微細流路の一端には、この微細流路に連通する大気に向かって開放したポートが配設されており、該微細流路の他端は、前記第2の凹陥部の上面に配置されていることを特徴とするマイクロ流体チップ。【選択図】 図1B
請求項(抜粋):
対面基板と、第1の基板と、薄膜と、第2の基板との少なくとも4層構造からなり、
前記第1の基板は、前記対面基板接合面側に、少なくとも1本の空気通路と、この通路の両端に配設された第1の貫通孔と第2の貫通孔とを有し、
前記薄膜は前記第1の基板の各貫通孔の開口部を密閉すると共に、前記空気通路及び各貫通孔内が真空状態に保たれることにより、前記各貫通孔内に凹陥してそれぞれ対応する第1の凹陥部及び第2の凹陥部を形成しており、
前記第2の基板は、前記薄膜接合面側に少なくとも1本の微細流路を有し、該微細流路の一端には、この微細流路に連通する大気に向かって開放したポートが配設されており、該微細流路の他端は、前記第2の凹陥部の上面に配置されていることを特徴とするマイクロ流体チップ。
IPC (3件):
G01N 35/08
, B81B 3/00
, G01N 37/00
FI (3件):
G01N35/08 A
, B81B3/00
, G01N37/00 101
Fターム (3件):
2G058DA07
, 2G058EA14
, 2G058EB15
引用特許:
出願人引用 (2件)
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微量液体制御機構
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-198313
出願人:理化学研究所
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特許第3418727号明細書
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