基板支持装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木正次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-321283
公開番号（公開出願番号）：特開平6-145978
出願日： 1992年11月05日
公開日（公表日）： 1994年05月27日
要約：

【要約】【目的】小径の基板が多数枚支持でき、かつ基板交換の自動化にも対応できる基板支持装置を提供することを目的とする。【構成】回転可能としたパレット12の円周に沿って、回転可能とした基板ホルダ13を複数設置して基板支持装置が構成される。基板ホルダ13は、基板ホルダの円周に沿ってd等分(dは2以上の整数)の位置に、夫々基板支持部17が設けてあり、パレット12と基板ホルダ13間の自公転機構は、パレット12が1回転した時、パレット12側から見た基板ホルダ13内の基板支持部17が、k/(d×m)回転(k、mは整数)した位置に自転する構成としてある。基板ホルダ13の数をe個としたとき、パレット12がn/e回転(nは整数)したときに、所定の位置での基板支持部17の配置が常に一定の配置となるようにする。

請求項（抜粋）：

回転可能としたパレットの円周に沿って、回転可能とした基板ホルダを複数設置してなる基板支持装置において、前記基板ホルダは、基板ホルダの円周に沿ってd等分(dは2以上の整数)の位置に、夫々基板支持部が設けてあると共に、パレットと基板ホルダ間の自公転機構は、パレットが1回転した時、パレット側から見た基板ホルダ内の基板支持部が、k/(d×m)回転(k、mは整数)した位置に自転する構成としたことを特徴とする基板支持装置。

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平1-133319
特開平1-312835
特開平4-013566

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審査官引用 (5件)

特開平1-133319
特開平1-312835
特開平4-013566

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