特許

J-GLOBAL ID：200903094883266048

固体撮像装置

発明者： 国仙谷 昇
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-004519
公開番号（公開出願番号）：特開2006-196553
出願日： 2005年01月11日
公開日（公表日）： 2006年07月27日
要約：

【課題】 メタル反射壁で反射した光を受光部へ導き受光量を増加させ、反射光の電荷転送路への漏れを抑えることにより、感度の向上およびスミア成分の低減が可能な固体撮像装置を提供する。 【解決手段】 複数の受光部3を配置した半導体基板4と、PSゲート1と、PPゲート2と、PPゲート上に設けられ受光部に入射光が入るように開口を設けた遮光膜7と、入射光を隣接画素に進入することを防止する遮光膜上に形成されたメタル反射壁12と、入射光が受光部に入るように開口を覆うように配置された層内レンズ9と、層内レンズ上方に設けられたフィルタ11と、メタル反射壁とフィルタ上方に設けられたトップレンズ14とを有する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

半導体基板内に配置され入射光を信号電荷に変換する複数の受光部と、 前記受光部に隣接し、前記受光部により変換された信号電荷を転送するための転送部と、 前記転送部上に形成され、パルス電圧を印加することにより前記信号電荷を前記転送部に沿って転送させる転送電極と、 それぞれの受光部に対して、受光部上に開口を有し、前記開口以外の前記基板平面および前記転送電極を覆う遮光膜と、 前記開口および前記遮光膜上に形成された透光性のある第1の平坦化層と、 前記第1の平坦化層上に開口を覆うように形成され、入射光を受光部へ導くための層内レンズと、 前記第1の平坦化層および前記層内レンズ上に形成された透光性のある第2の平坦化層と、 前記第2の平坦化層上に形成されたフィルタと、 前記受光部間を仕切り、前記基板に垂直に形成されたメタル反射壁と、 前記フィルタおよび前記メタル反射壁を覆う透光性のある第3の平坦化層と、 前記第3の平坦化層上に形成されたトップレンズとを備えたことを特徴とする固体撮像装置。

IPC (3件)：

H01L 27/14 ,  H04N 5/335 ,  H04N 9/07

FI (4件)：

H01L27/14 D ,  H04N5/335 F ,  H04N5/335 U ,  H04N9/07 A

Fターム (33件)：

4M118AA01 ,  4M118AA05 ,  4M118AB01 ,  4M118BA13 ,  4M118CA19 ,  4M118FA06 ,  4M118GB03 ,  4M118GB07 ,  4M118GB20 ,  4M118GC08 ,  4M118GD04 ,  4M118GD06 ,  4M118GD07 ,  5C024AX01 ,  5C024CX13 ,  5C024CX41 ,  5C024CY47 ,  5C024DX01 ,  5C024EX43 ,  5C024EX52 ,  5C024GX02 ,  5C024GY01 ,  5C024HX01 ,  5C065BB19 ,  5C065BB24 ,  5C065BB42 ,  5C065CC01 ,  5C065DD02 ,  5C065DD17 ,  5C065EE05 ,  5C065EE06 ,  5C065EE10 ,  5C065EE11

引用特許：

出願人引用 (1件)

• マス型フィルタ構造による固体撮像素子及び製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-320024   出願人：ソニー株式会社