特許
J-GLOBAL ID：200903094966537922

照明光学装置

発明者：
鈴木 健司

鈴木 健司 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (2件)： 渡辺 隆男 ,  大澤 圭司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-027011
公開番号（公開出願番号）：特開2005-223007
出願日： 2004年02月03日
公開日（公表日）： 2005年08月18日
要約：
【課題】 波長60nm以下のEUVを光源とした照明光学装置において、発光位置等の変動に対応可能、長期使用可能、照明条件の調整、最適化を目的とするものである。【手段】 波長60nm以下のEUV光源、コレクター光学系、コリメーターミラー、反射型フライアイ光学系、コンデンサーミラー光学系からなる照明光学装置において、コレクター光学系、コリメーターミラー、反射型フライアイ光学系、コンデンサーミラー光学系の各々それぞれを交換可能とすることにより、波長60nm以下のEUV光源を用いた照明光学装置に特有の問題である発光位置の変動、長期使用、照明条件の調整、最適化の問題を解決し、製造装置として使用可能なEUV照明光学装置を提供するものである。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
露光装置等に用いられる照明光学装置であって、 波長60nm以下のEUV光を発生させる光源と、 前記光源からの光を集光するコレクター光学系と、 前記コレクター光学系の集光点付近に配置され光源からの飛散物を除去し光線を透過させるためのピンホールが設けられた隔壁と、 前記隔壁から射出した光線を平行光束とするコリメーターミラーと、 前記コリメーターミラーからの平行光束を反射鏡により二次光源群からの光束に変換する反射型フライアイ光学系と、 前記反射型フライアイ光学系により生成された二次光源群からの光束を反射鏡により重畳してレチクル面上の照明領域を照明するコンデンサーミラー光学系からなる照明光学装置において、 前記コリメーターミラーが複数配置され、使用するコリメーターミラーが選択可能な交換機構を有していることを特徴とする照明光学装置。
IPC (5件)：
H01L21/027 ,  G03F7/20 ,  G21K1/06 ,  G21K5/00 ,  G21K5/02
FI (9件)：
H01L21/30 527 ,  G03F7/20 503 ,  G03F7/20 521 ,  G21K1/06 N ,  G21K5/00 Z ,  G21K5/02 X ,  H01L21/30 502H ,  H01L21/30 517 ,  H01L21/30 531A
Fターム (22件)：
2H097AA02 ,  2H097BA10 ,  2H097BB10 ,  2H097CA15 ,  2H097EA01 ,  2H097GB01 ,  2H097LA10 ,  5F046BA05 ,  5F046CA08 ,  5F046CB03 ,  5F046CB05 ,  5F046CB13 ,  5F046CB14 ,  5F046CB23 ,  5F046DA01 ,  5F046DA26 ,  5F046DB01 ,  5F046GA03 ,  5F046GA07 ,  5F046GA14 ,  5F046GB01 ,  5F046GC03
引用特許：
出願人引用 (1件)

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