特許
J-GLOBAL ID：200903094971554401
カーボンナノチューブの製造方法及び非晶質カーボンロッドの製造方法、並びにそれらに用いる製造用基材
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 三彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-407905
公開番号（公開出願番号）：特開2005-022952
出願日： 2003年12月05日
公開日（公表日）： 2005年01月27日
要約：
【課題】 カーボンナノチューブや非晶質カーボンロッドを容易にかつ低コストで製造できるカーボンナノチューブの製造方法及び非晶質カーボンロッドの製造方法、並びにそれらに用いる製造用基材を提供する。【解決手段】 酸素原子供給源である基板(被成膜物)1の表面1a、又は、この基板1の表面1aに積層された酸素原子透過層41の表面41aに、チタン及び炭素を同時に蒸着して前記チタンを含有する非晶質カーボン膜2を形成し、この非晶質カーボン膜2を真空中で750乃至950°Cに加熱することによって、前記非晶質カーボン膜2の表面2aにカーボンナノチューブや非晶質カーボンロッドを生成させる。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
酸素原子供給源である被成膜物の表面、又は、この被成膜物の表面に積層された酸素原子透過層の表面に、チタン及び炭素を同時に蒸着して前記チタンを含有する非晶質カーボン膜を形成し、この非晶質カーボン膜を真空中で750乃至950°Cに加熱することによって、前記非晶質カーボン膜の表面にカーボンナノチューブを生成させることを特徴とするカーボンナノチューブの製造方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
4G146AA11
, 4G146AC01A
, 4G146AC03B
, 4G146AD02
, 4G146BB22
, 4G146BB23
, 4G146BC02
, 4G146BC06
, 4G146BC10
, 4G146BC27
, 4G146BC33A
, 4G146BC33B
, 4G146BC38B
, 4G146BC43
