特許

J-GLOBAL ID：200903095022852856

液体材料気化供給装置

発明者： 宮本 英顕 ,  石川 亨一 ,  河野 武志
出願人/特許権者： 株式会社エステック
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-044990
公開番号（公開出願番号）：特開平7-227535
出願日： 1994年02月20日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：

【要約】【目的】 常に安定にしかも高速応答性でもって気化ガスを流量制御することができる、コンパクトで安価な液体材料気化供給装置を提供すること。【構成】 液体流量計9と、気化機能と流量調整機能とを備え、液体流量計9を介して供給される液体材料LMを気化する気化器12とを直列に接続し、液体流量計9によって検出される検出流量aを設定流量bと比較し、この比較結果に基づいて気化器12に設けられた気化室32に対する液体材料LMの流入量を制御するように構成した。

請求項（抜粋）：

液体流量計と、気化機能と流量調整機能とを備え、液体流量計を介して供給される液体材料を気化する気化器とを直列に接続し、液体流量計によって検出される検出流量を設定値と比較し、この比較結果に基づいて気化器に設けられた気化室に対する液体材料の流入量を制御するようにしたことを特徴とする液体材料気化供給装置。

IPC (4件)：

B01J 4/02 ,  B01J 7/02 ,  C30B 25/14 ,  F17C 9/02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 液体原料用気化供給器
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-036707   出願人：株式会社リンテック, アプライド・マテリアルズ・ジャパン株式会社
• 特開平4-014114