特許

J-GLOBAL ID：200903095032518776

光偏向装置

発明者： 後藤 博史 ,  坂田 稔
出願人/特許権者： オムロン株式会社
代理人 (1件)： 牛久 健司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-275047
公開番号（公開出願番号）：特開平9-096768
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：

【要約】【目的】 超小型で偏向角度が大きい光偏向装置を提供する。【構成】 等間隔で直線状の多数のスリット21が刻まれた同一の回折格子2a,2bが,スリットが一致するように配置されている。固定回折格子2aは基板1に固定されている。支持部3は変形可能な薄肉部3aを有し,ばね部31を介して可動回折格子2bを両持ち状に支持している。薄肉部3a上の圧電素子32に電圧を印加して回折格子2aと2bとを密着させると,1つの回折格子と等価となるので,入射光ビームは1回の回折効果を受けて出射される。回折格子2bが回折格子2aから離れている状態では,光ビームは2回の回折効果を受ける。

請求項（抜粋）：

平行に配置された格子間隔が等しい少なくとも2つの回折格子,上記の2つの回折格子を,それらの格子面に垂直な方向に,相対的に接近離間自在に支持する支持部材,および上記の2つの回折格子が接触位置と離隔した位置の少なくとも2つの位置をとるように,少なくとも一方の回折格子を格子面と垂直な方向に移動させる駆動手段,を備えた光偏向装置。