特許

J-GLOBAL ID：200903095065204106

誘導型変位検出装置

発明者： 川床 修
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 伊丹 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-297688
公開番号（公開出願番号）：特開2006-112815
出願日： 2004年10月12日
公開日（公表日）： 2006年04月27日
要約：

【課題】分解能向上及び高精度化の可能な誘導型変位検出装置を提供する。【解決手段】誘導型変位検出装置1は、スケール3と、測定軸Xに沿って移動可能なセンサヘッド5と、を有する。スケール3には磁束結合巻線9が測定軸Xに沿って配列されている。センサヘッド5に配置された受信巻線15は、受信ループ17を測定軸Xに沿って配列された構成を有する。隣り合う受信ループ17で構成されるペアループ19の測定軸Xに沿った長さをλとすると、磁束結合巻線9のピッチPがλ/5である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

スケールと、 前記スケールと対向するように配置されると共に前記スケールに対して測定軸の方向に相対移動可能なセンサヘッドと、 前記センサヘッドに配置された送信部材と、 前記測定軸に沿って前記センサヘッドに配列された複数の受信ループを有する受信巻線と、 前記送信部材及び前記受信巻線に対して磁束結合可能であると共に前記測定軸に沿って前記スケールに配列された複数の磁束結合部材と、を備え、 隣り合う前記受信ループで構成されるペアループの前記測定軸に沿った長さをλとすると、 一個分の前記受信ループの前記測定軸に沿った長さがλ/2であると共に前記磁束結合部材のピッチがλ/N(Nは3以上の奇数)である ことを特徴とする誘導型変位検出装置。

IPC (1件)：

G01D 5/245

FI (1件)：

G01D5/245 201D

Fターム (6件)：

2F077AA25 ,  2F077NN09 ,  2F077NN16 ,  2F077PP30 ,  2F077QQ05 ,  2F077QQ07

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 誘導電流を用いた位置検出トランスデューサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-116644   出願人：株式会社ミツトヨ

審査官引用 (1件)

• 誘導形測長システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-183697   出願人：レックスロートスターゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング