特許

J-GLOBAL ID：200903095097927657

高熱伝導性窒化けい素焼結体およびその製造方法

発明者： 小松 通泰 ,  今泉 辰弥 ,  近藤 和行
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 波多野 久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-344237
公開番号（公開出願番号）：特開平9-183666
出願日： 1995年12月28日
公開日（公表日）： 1997年07月15日
要約：

【要約】【課題】窒化けい素焼結体が本来備える高強度特性に加えて、熱伝導率が高く放熱性に優れた窒化けい素焼結体およびその製造方法を提供する。【解決手段】希土類元素を酸化物に換算して7.5重量%を超え17.5重量%以下、必要に応じて窒化アルミニウムおよびアルミナの少なくとも一方を1.0重量%以下、必要に応じてTi,Zr,Hf,V,Nb,Ta,Cr,Mo,Wの酸化物、炭化物、窒化物、けい化物、硼化物からなる群より選択される少なくとも1種を0.1〜3.0重量%、その他不純物陽イオン元素としてLi,Na,K,Fe,Ca,Mg,Sr,Ba,Mn,Bを合計で0.3重量%以下含有し、β相型窒化けい素結晶および粒界相から成ることを特徴とする。この焼結体は粒界相中における結晶化合物相の粒界相全体に対する割合が20%以上であり、さらに気孔率が容量比で2.5%以下、熱伝導率が80W/m・K以上、三点曲げ強度が室温で650MPa以上である。

請求項（抜粋）：

希土類元素を酸化物に換算して7.5重量%を超え17.5重量%以下、不純物陽イオン元素としてのLi,Na,K,Fe,Ca,Mg,Sr,Ba,Mn,Bを合計で0.3重量%以下含有し、熱伝導率が80W/m・K以上であることを特徴とする高熱伝導性窒化けい素焼結体。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 高熱伝導性窒化けい素焼結体およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-192559   出願人：株式会社東芝
• 高熱伝導性窒化けい素構造部材および半導体パッケージ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-333595   出願人：株式会社東芝
• 特開平3-199166
  
• 特開平3-218975