特許

J-GLOBAL ID：200903095133689970

微小物体移動方法及びそれを用いた観察方法並びに観察装置

発明者： 新 澤 雄 彦
出願人/特許権者： 日本電子株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-038005
公開番号（公開出願番号）：特開2003-242921
出願日： 2002年02月15日
公開日（公表日）： 2003年08月29日
要約：

【要約】【課題】 試料の被観察面上の複数の微小物体を連続的に除去できるようにする。【解決手段】 試料室2の上端部には電子光学鏡筒3が配置され、駆動ステージ4上に載置された試料Sの被観察面S1に電子ビームEBが照射される。試料Sの被観察面S1の上方には、摘出用探針11と剥離用探針10とが配置されている。被観察面S1に複数の微小物体が付着している場合、正電位が印加された摘出用探針11とのクーロン引力、及び負電位が印加された剥離用探針10とのクーロン斥力により上記複数の微小物体を連続的に当該摘出用探針11に付着させて取り出す。複数の微小物体が付着した摘出用探針11は、正電位が印加された状態で別の場所に移動され、移動後に負電位が切り替わって印加されることにより、当該複数の微小物体がまとめて落下する。

請求項（抜粋）：

試料上の第1の微小物体に電子ビームを照射して前記第1の微小物体を負に帯電させる工程と、第1の探針を前記第1の微小物体に接近させる工程と、第2の探針を前記第1の微小物体に接近させる工程と、前記第1の探針に正電位を印加する工程と、前記第2の探針に負電位を印加する工程と、前記第1の探針とのクーロン引力及び前記第2の探針とのクーロン斥力により、前記第1の微小物体を動かして前記第1の探針に付着させる工程とを有する微小物体移動方法。

IPC (4件)：

H01J 37/20 ,  B25J 7/00 ,  B82B 3/00 ,  H01J 37/30

FI (4件)：

H01J 37/20 G ,  B25J 7/00 ,  B82B 3/00 ,  H01J 37/30 Z

Fターム (8件)：

3C007AS09 ,  3C007BS30 ,  3C007XG05 ,  5C001AA08 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C034AA09 ,  5C034AB04

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭50-115971
  
• イオン注入装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-052931   出願人：日新電機株式会社
• 集束イオンビーム質量分析装置および分析方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-362213   出願人：株式会社日立製作所
• 特開昭50-115971