特許
J-GLOBAL ID:200903095180695555
磁気記録媒体及び磁気記録媒体の製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-291033
公開番号(公開出願番号):特開平7-235035
出願日: 1994年11月25日
公開日(公表日): 1995年09月05日
要約:
【要約】【目的】 本発明は、電磁変換特性と実用信頼性(走行安定性、耐久性、耐候性)とを高次元で両立することのできる強磁性金属薄膜型磁気記録媒体を提供することを目的とする。【構成】 非磁性基板1上に強磁性金属薄膜3を形成し、強磁性金属薄膜3の表面層に酸素原子を他の部分よりも多く含むドライエッチング処理部5を設けた後、硬質炭素膜6を形成し、この硬質炭素膜6上に炭素、窒素、酸素を含み、炭素に対する窒素の原子比率が0.8%以上である厚さ3nm未満の改質面7を形成し、さらにこの改質面7上に潤滑剤層8を形成する。
請求項(抜粋):
非磁性基板上に強磁性金属薄膜を形成し、上記強磁性金属薄膜の表面層に酸素原子を他の部分よりも多く含むドライエッチング処理部を設けた後、硬質炭素膜、潤滑剤層を順次形成した構成であることを特徴とする磁気記録媒体。
IPC (8件):
G11B 5/66
, C23C 14/06
, C23C 16/26
, C23C 16/50
, C23F 4/00
, G11B 5/72
, G11B 5/84
, G11B 5/85
引用特許:
審査官引用 (5件)
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特開昭62-175925
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磁気記録媒体の製作方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-127950
出願人:日本ビクター株式会社
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特開平3-238620
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特開平1-263912
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特開平2-012614
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