特許

J-GLOBAL ID：200903095257734788

ビーム電流減衰器

発明者： 中西 正一
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-248159
公開番号（公開出願番号）：特開2003-057397
出願日： 2001年08月17日
公開日（公表日）： 2003年02月26日
要約：

【要約】【課題】 容易に作製できるとともに荷電粒子ビームのビーム電流の調整が容易にできるビーム電流減衰器を得る。【解決手段】 ビーム電流減衰器1は、複数のスリット4が設けられた金属板2と、この金属板2を支持し、軸線方向に往復移動可能な支持軸3とを備えている。複数のスリット4は、互いに平行に金属板2に設けられており、このスリット4の幅寸法がそれぞれ長手方向に沿って支持軸3に向かって連続的に小さくなっている。従って、荷電粒子ビーム5を金属板2に照射したときに荷電粒子ビーム5はスリット4のみを通過し、他の金属部分は通過しないので、ビーム電流を減衰させることができ、金属板2を往復移動させることによりスリット4の幅寸法を変化させ、ビーム電流の減衰率を変化させることができる。

請求項（抜粋）：

荷電粒子ビームの経路上に複数のスリットが形成された金属板が配置され、前記荷電粒子ビームの一部を前記金属板が遮断することによって前記荷電粒子ビームのビーム電流を減衰させるようになっていることを特徴とするビーム電流減衰器。

IPC (4件)：

G21K 1/04 ,  A61N 5/10 ,  H05H 7/02 ,  H05H 13/04

FI (6件)：

G21K 1/04 P ,  A61N 5/10 E ,  A61N 5/10 H ,  H05H 7/02 ,  H05H 13/04 G ,  H05H 13/04 M

Fターム (19件)：

2G085AA13 ,  2G085BA13 ,  2G085BA14 ,  2G085BA16 ,  2G085BE03 ,  2G085BE06 ,  2G085BE08 ,  2G085CA12 ,  2G085CA16 ,  2G085CA21 ,  2G085CA22 ,  2G085EA07 ,  4C082AA01 ,  4C082AC04 ,  4C082AE01 ,  4C082AG01 ,  4C082AG02 ,  4C082AG12 ,  4C082AG43

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 加速器システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-019142   出願人：三菱電機株式会社
• 特開昭55-141100
  
• 特開昭63-075600
  
• 特開昭55-151799