特許
J-GLOBAL ID：200903095260147982
表面波共振子フィルタ
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-064396
公開番号（公開出願番号）：特開平8-265088
出願日： 1995年03月23日
公開日（公表日）： 1996年10月11日
要約：
【要約】【目的】安価かつ小形で、温度特性の良好な、高性能、広帯域な表面波共振子フィルタを提供する。【構成】36 ゚YカットX伝搬のLiTaO3 基板1上に、IDT2,3が近接して形成され、IDT2,3の外側には反射器4、4が形成され、IDT2,3及び反射器4、4を覆うようにSiO2 膜5が形成されている。IDT2,3及び反射器4、4はAlまたはAlの合金からなり、IDT2,3及び反射器4、4の電極膜厚、SiO2 膜5の膜厚及びIDT2,3の総電極指対数が特定の範囲に限定されて形成されている。
請求項（抜粋）：
36°YカットX伝搬のLiTaO3 基板上に、複数のIDTが近接して形成され、前記複数のIDTの両側に反射器が形成され、前記IDTの電極及び前記反射器の電極がAlまたはAlを主成分とする合金からなり、前記IDT及び前記反射器を覆うようにSiO2 膜が形成され、前記IDT及び前記反射器の電極膜厚をT、前記SiO2 膜の膜厚をH、表面波の波長をλとしたとき、電極膜厚比T/λ及びSiO2 膜厚比H/λが、2.6%≦T/λ≦4.8%22%≦H/λ≦38%に設定されていることを特徴とする表面波共振子フィルタ。
IPC (4件)：
H03H 9/145
, H03H 3/08
, H03H 9/25
, H03H 9/64
H03H 9/145 C
, H03H 3/08
, H03H 9/25 C
, H03H 9/64 Z
