特許
J-GLOBAL ID：200903095272365721
斜光照明装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-332992
公開番号（公開出願番号）：特開平8-166514
出願日： 1994年12月14日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：
【要約】【目的】 小さな入射角で被検物体を斜めから照明することのできる斜光照明装置を提供すること。【構成】 本発明においては、対物レンズ1を介して物体9の光学像を検出する光学機器のための照明装置において、前記対物レンズ1の光軸から離れた対物レンズ周縁部を介して、前記物体9に向かって照明光を斜入射するための複数の斜光照明手段を備えている。
請求項（抜粋）：
対物レンズを介して物体の光学像を検出する光学機器のための照明装置において、前記対物レンズの光軸から離れた対物レンズ周縁部を介して、前記物体に向かって照明光を斜入射するための複数の斜光照明手段を備えていることを特徴とする斜光照明装置。
IPC (2件)：
G02B 6/00 331
, G02B 21/06
