カーボンナノチューブ及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：廣田浩一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-077036
公開番号（公開出願番号）：特開2003-277029
出願日： 2002年03月19日
公開日（公表日）： 2003年10月02日
要約：

【要約】【課題】直径及び/又は層数が制御されたカーボンナノチューブを効率良く製造することができるカーボンナノチューブの製造方法を提供する。【解決手段】カーボンナノチューブの成長の種原料としてナノ炭素材料を用いるカーボンナノチューブの製造方法である。基板上にナノ炭素材料を配置し、カーボンナノチューブを前記基板に対して略垂直に選択成長させる態様、選択成長がCVD法により行われる態様、ナノ炭素材料が、触媒金属によってコーティングされてなる態様、触媒金属によってコーティングされてなるナノ炭素材料の該触媒金属層の厚みを制御することによって多層カーボンナノチューブの層数を制御する態様、ナノ炭素材料がフラーレンである態様などが好ましい。

請求項（抜粋）：