記録媒体のスタンパー検査装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：役昌明 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-241640
公開番号（公開出願番号）：特開2002-054906
出願日： 2000年08月09日
公開日（公表日）： 2002年02月20日
要約：

【要約】【課題】記録媒体のスタンパーの溝の深さが、測定用レーザーの波長の8分の1より深い場合でも、溝の検査を行なうことができるようにする。【解決手段】光ディスクなどの記録媒体のスタンパーの溝1の中心位置に、主ビーム2を照射する。溝1の中心より少し外れた位置に、第1副ビーム3または第2副ビーム4を照射する。主ビーム2の反射光の強度と、第1副ビーム3または第2副ビーム4の反射光の強度を測定する。溝1がレーザー光の波長の1/4より深くても、副ビームの反射光の強度は低下しないので、溝1が深くても、副ビームの反射光の強度に基づいて、記録媒体のスタンパーの溝1の深さの変化と、溝1の幅の変化と、溝1の欠落を計測できる。溝1の蛇行の振幅とその周期も計測できる。

請求項（抜粋）：

記録媒体のスタンパーの溝の中心に主レーザービームを照射する主ビーム照射手段と、前記溝の中心から外れた位置に副レーザービームを照射する副ビーム照射手段と、前記主レーザービームの反射光の強度を測定する主測定手段と、前記副レーザービームの反射光の強度を測定する副測定手段と、前記主測定手段と前記副測定手段との測定結果に基づいて前記溝を検査する検査手段とを具備することを特徴とする記録媒体のスタンパー検査装置。

IPC (4件)：

G01B 11/02 , G01B 11/22 , G11B 7/005 , G11B 7/26 511

FI (4件)：

G01B 11/02 Z , G01B 11/22 Z , G11B 7/005 Z , G11B 7/26 511

Fターム (19件)：

2F065AA22 , 2F065AA25 , 2F065CC03 , 2F065FF44 , 2F065GG06 , 2F065HH12 , 2F065JJ22 , 2F065JJ23 , 2F065QQ25 , 2F065UU01 , 2F065UU05 , 5D090AA01 , 5D090BB01 , 5D090CC18 , 5D090GG09 , 5D090KK13 , 5D090KK15 , 5D121HH09 , 5D121HH15

引用特許：

審査官引用 (4件)

光デイスク検査方法及び光デイスク検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-284297 出願人：ソニー株式会社
特開昭58-102343
特開平2-098846

全件表示

前のページに戻る