照明装置及びそれを用いた投影露光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高梨幸雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-361944
公開番号（公開出願番号）：特開平11-176721
出願日： 1997年12月10日
公開日（公表日）： 1999年07月02日
要約：

【要約】【課題】被照射面を照明光束の有効利用を図りつつ、均一に照明することができ、半導体デバイスの製造に好適な照明装置及びそれを用いた投影露光装置を得ること。【解決手段】光源と該光源からの光束を一定の発散角度で射出する射出角度保存光学素子と、該射出角度保存光学素子からの光束を集光する集光光学系と、該集光光学系からの光束を用いて所定面上に所望の照度分布を形成する回折光学素子及びリレー光学系と、該所定面上の照度分布を多光束発生手段の入射面に所望の倍率で投影するズーム光学系、そして該多光束発生手段の射出面からの光束を照射面上に重ね合わせて照射する照明手段とを有していること。

請求項（抜粋）：

光源と該光源からの光束を一定の発散角度で射出する射出角度保存光学素子と、該射出角度保存光学素子からの光束を集光する集光光学系と、該集光光学系からの光束を用いて所定面上に所望の照度分布を形成する回折光学素子及びリレー光学系と、該所定面上の照度分布を多光束発生手段の入射面に所望の倍率で投影するズーム光学系、そして該多光束発生手段の射出面からの光束を照射面上に重ね合わせて照射する照明手段とを有していることを特徴とする照明装置。

引用特許：

審査官引用 (1件)

露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-334596 出願人：株式会社日立製作所

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