露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-334596
公開番号（公開出願番号）：特開平7-201697
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1995年08月04日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】変形照明で露光を行う露光装置において、光源で発生する照明光の利用効率を向上させる。【構成】光源12とインテグレータレンズ13の間にコリメートレンズ70と集光光学要素を配置し、インテグレータレンズ前面で所望の光強度分布を得る。また、転写パターンに応じて、最適な集光光学要素が選択できる集光光学要素選択手段を備える。【効果】遮蔽板を用いる従来方式に比べ、露光時間を短縮することができ、露光時間増加に伴う、露光時間中の振動の影響が排除でき、転写精度が向上する。

請求項（抜粋）：

マスクに形成された回路パターンを感光基板上に投影する投影光学系と光源からの照明光で、前記マスクをほぼ一様に照明する照明光学系を備えた露光装置において、前記照明光を所望の領域に集光する集光光学要素を具備することを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 515 D , H01L 21/30 527

引用特許：

審査官引用 (5件)

照明光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-047409 出願人：株式会社ニコン
投影型露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-027107 出願人：株式会社ニコン
照明光学装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-225744 出願人：日本電気株式会社

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