特許

J-GLOBAL ID：200903095381251760

投影露光装置、及び該装置を用いたパターン転写方法

発明者： ロメオ アイ メルカード
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-197275
公開番号（公開出願番号）：特開平11-097347
出願日： 1998年07月13日
公開日（公表日）： 1999年04月09日
要約：

【要約】【課題】一層高い解像度および高水準の収差補正を維持するか、広い面積の露光視野での高水準の収差補正へ到達すること【解決手段】 投影原版上のパターンを基板へ転写するための投影露光装置は、投影原版を保持する第1の保持部材と;基板を保持する第2の保持部材と;投影原版上のパターンを照明するための照明光学系と;投影原版上のパターンを基板へ投影するための投影光学系と;を備える。投影光学系は、前記投影原版側から順に、正屈折力を有する第1レンズ群と;負屈折力を有する第2レンズ群と;正屈折力を有する第3レンズ群と;負屈折力を有する第4レンズ群と;正屈折力を有する第5レンズ群と;を備える。第5レンズ群は少なくとも1面の非球面レンズ面を含む。

請求項（抜粋）：

投影原版上のパターンを基板へ転写するための投影露光装置において、前記投影原版を保持する第1の保持部材と;前記基板を保持する第2の保持部材と;前記投影原版上のパターンを照明するための照明光学系と;前記投影原版上のパターンを前記基板へ投影するための投影光学系と;を備え、前記投影光学系は、前記投影原版側から順に、正屈折力を有する第1レンズ群と;負屈折力を有する第2レンズ群と;正屈折力を有する第3レンズ群と;負屈折力を有する第4レンズ群と;正屈折力を有する第5レンズ群と;を備え、前記第5レンズ群は少なくとも1面の非球面レンズ面を含み、以下の条件を満足することを特徴とする投影露光装置。0.5<TG5/LG5<0.85但し、TG5:前記第5レンズ群中の各レンズ素子の軸上厚の総和、LG5:前記第5レンズ群中の最も投影原版側に位置するレンズ面から前記第5レンズ群中の最も基板側に位置するレンズ面までの光軸上の距離、である。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G02B 13/18 ,  G02B 13/24 ,  G03F 7/20 521

FI (5件)：

H01L 21/30 515 D ,  G02B 13/18 ,  G02B 13/24 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 投影光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-055979   出願人：株式会社ニコン