特許
J-GLOBAL ID：200903039056284957

投影光学系

発明者：
松澤 均

松澤 均 について

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重松 幸二

重松 幸二 について

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遠藤 一正

遠藤 一正 について

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末永 豊

末永 豊 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-055979
公開番号（公開出願番号）：特開平8-254652
出願日： 1995年03月15日
公開日（公表日）： 1996年10月01日
要約：
【要約】【目的】 比較的大きな開口数を持ち、両側テレセントリック性及び諸収差、特にディストーションの良好なる補正が極めて広い露光領域において達成された高性能な投影光学系の提供。【構成】 本発明による投影光学系は、第1物体R側から順に、正屈折力の第1レンズ群G1 と、負屈折力の第2レンズ群G2 と、正屈折力の第3レンズ群G3と、負屈折力の第4レンズ群G4 と、正屈折力の第5レンズ群G5 とを有するように構成される。そして、本発明は、上述の構成に基づいて第1乃至第5レンズ群G1 〜G5 の好適な焦点距離範囲を見出したものである。
請求項（抜粋）：
第1物体の像を第2物体上に投影する投影光学系において、前記投影光学系は、前記第1物体側から順に、正の屈折力を持つ第1レンズ群と、負の屈折力を持つ第2レンズ群と、正の屈折力を持つ第3レンズ群と、負の屈折力を持つ第4レンズ群と、正の屈折力を持つ第5レンズ群とを有し、前記第1レンズ群の焦点距離をf<SB>1 </SB>、前記第2レンズ群の焦点距離をf<SB>2 </SB>、前記第3レンズ群の焦点距離をf<SB>3 </SB>、前記第4レンズ群の焦点距離をf<SB>4 </SB>、前記第5レンズ群の焦点距離をf<SB>5 </SB>、前記第1レンズ群乃至第3レンズ群の合成焦点距離をf<SB>1-3 </SB>、前記第4レンズ群及び前記第5レンズ群の合成焦点距離をf<SB>4-5 </SB>、前記第1物体から前記第2物体までの距離をLとするとき、以下の条件を満足することを特徴とする投影光学系。(1) 0.1<f<SB>1 </SB>/f<SB>3 </SB><17(2) 0.1<f<SB>2 </SB>/f<SB>4 </SB><14(3) 0.01<f<SB>5 </SB>/L<0.8(4) f<SB>1-3 </SB>/f<SB>4-5 </SB><2.5
引用特許：
審査官引用 (23件)
  • 特開平4-157412
  • 投影レンズ系
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-116792   出願人：オリンパス光学工業株式会社
  • 投影レンズ系
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-102358   出願人：オリンパス光学工業株式会社
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