薄膜トランジスタアレイ基板及びその検査方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大前要
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-227566
公開番号（公開出願番号）：特開2001-053282
出願日： 1999年08月11日
公開日（公表日）： 2001年02月23日
要約：

【要約】【課題】パルス応答法を用いて駆動回路及び画素トランジスタの検査を行う前に、テストパターンの検査を行って不良品チップのスクリーニングを行い、検査効率を向上することを目的とする。【解決手段】基板上にマトリックス状に配列された画素トランジスタ20aと、該画素トランジスタ20aに接続された駆動回路20X・20Yと、該駆動回路20X・20Yに接続された複数のアレイ検査用パッド30a・30a...からなるアレイ検査用パッド列とを備える薄膜トランジスタアレイ基板1であって、前記アレイ検査用パッド列の延長上に、アレイ検査用パッド30a・30a...と略同一形状、略同一間隔の、複数のテストパターン検査用パッド30b・30b...からなるテストパターン検査用パッド列を形成し、テストパターン検査用パッド30b・30b...をテストパターン50に接続したことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

基板上にマトリックス状に配列された画素トランジスタと、該画素トランジスタに接続された駆動回路と、該駆動回路に接続された複数のアレイ検査用パッドからなるアレイ検査用パッド列と、を備える薄膜トランジスタアレイ基板であって、前記アレイ検査用パッド列の延長上に、アレイ検査用パッドと略同一形状、略同一間隔の、複数のテストパターン検査用パッドからなるテストパターン検査用パッド列を形成し、テストパターン検査用パッドをテストパターンに接続したことを特徴とする薄膜トランジスタアレイ基板。

IPC (7件)：

H01L 29/786 , G01R 31/02 , G02F 1/13 101 , G02F 1/1365 , G09F 9/00 352 , G09F 9/30 338 , H01L 21/66

FI (7件)：

H01L 29/78 624 , G01R 31/02 , G02F 1/13 101 , G09F 9/00 352 , G09F 9/30 338 , H01L 21/66 E , G02F 1/136 500

Fターム (53件)：

2G014AA03 , 2G014AA25 , 2G014AA32 , 2G014AB51 , 2G014AB59 , 2G014AC19 , 2H088FA11 , 2H088HA06 , 2H088HA08 , 2H088MA20 , 2H092JA24 , 2H092MA57 , 2H092NA30 , 2H092PA06 , 4M106AA20 , 4M106AB02 , 4M106AB03 , 4M106AC02 , 4M106AD01 , 4M106BA01 , 4M106CA04 , 4M106CA32 , 4M106CA70 , 4M106CB12 , 5C094AA43 , 5C094AA44 , 5C094AA46 , 5C094AA48 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA09 , 5C094DB01 , 5C094DB03 , 5C094EA03 , 5C094EA04 , 5C094FA01 , 5C094FB12 , 5C094FB14 , 5C094FB15 , 5C094GB10 , 5F110AA24 , 5F110BB02 , 5F110BB03 , 5F110QQ30 , 5G435AA17 , 5G435BB12 , 5G435CC09 , 5G435HH12 , 5G435HH13 , 5G435HH14 , 5G435KK05 , 5G435KK10

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