薄膜製品の検査装置およびそれを用いた薄膜製品の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-277700
公開番号（公開出願番号）：特開平10-125749
出願日： 1996年10月21日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：

【要約】【課題】半導体のような薄膜製品製造の被加工物観察において、従来のように寸法だけではなく、形状としての総合的な判定を可能にする手段を提供する。【解決手段】半導体のような薄膜製品の3次元形状シミュレーション手段1と、そのシミュレーション結果の3次元形状モデルデータ2と、立体視用観察装置画像データ取得手段3と、3次元形状モデルデータ2と観察装置画像データ4を合成し比較観察を行う立体視形状管理手段6と、立体視映像表示手段7と、入力手段8と、形状管理データ登録手段9から構成する。製造装置で処理した被加工物の実際の形状と目標とする形状との立体的な比較による合否判定と、被加工物の3次元形状データ取得を行うことで、製品の形状管理による歩留り管理が容易になり不良品の低減を図ることが可能となる。

請求項（抜粋）：

被加工物に要求される加工パターンを3次元形状モデルとして予めシミュレーションしておき、該被加工物に加工された加工パターンを3次元画像データとして取得した場合、該3次元形状シミュレーションの有するパラメータと、該画像データ取得手段の有するパラメータとを整合させることで、該シミュレーションされた3次元形状モデルと該取得された3次元画像データとを合成して同一デイスプレイ上に表示し、該表示結果に基づいて該被加工物に加工された加工パターンの合否を判定することを特徴とする薄膜製品の製造方法。

IPC (5件)：

H01L 21/66 , G01B 11/24 , G06T 7/00 , H01L 21/00 , H01L 21/02

FI (5件)：

H01L 21/66 J , G01B 11/24 K , H01L 21/00 , H01L 21/02 Z , G06F 15/62 415

引用特許：

出願人引用 (6件)

特開昭54-115061
特開昭58-086737
特開平4-238631

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